相对湿度，指空气中水汽压与相同温度下饱和水汽压的百分比。而洁净室相对湿度操控欠好，就有可能使洁净室整体体现下降，而且还会带来以下这些一系列的影响。那我们一起来看看洁净室相对湿度操控欠好会有什么具体的影响吧！

　　１、细菌成长

　　细菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨虫）在相对湿度超越６０％的环境中能够活泼地繁衍。一些菌群在相对湿度超越３０％时就能够添加。而相对湿度处于４０％至６０％的规模之间时，能够使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。所以无尘车间的相对湿度需要操控在必定规模。

　　２、简单形成洁净室里的金属腐蚀

　　很多化学反响的速度，包括腐蚀过程，将跟着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。一些金属，例如铝，能够与水形成一层维护型的氧化物，并阻挠进一步的氧化反响；另一种金属，例如氧化铜，是不具有维护才能的。在高湿度的环境中，铜制外表更简单遭到腐蚀。

　　３、呈现静电荷

　　当相对湿度超越５０％时，静电荷开端敏捷散失，可是当相对湿度小于３０％时，它们能够在绝缘体或者未接地的外表上继续存在很长一段时间。洁净室相对湿度在３５％到４０％之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间一般都使用额定的操控装置以限制静电荷的积累。

　　４、吸水性

　　相对湿度操控欠好，对洁净室吸水性产出必定的影响。

　　５、水汽冷凝

　　在相对湿度较高的洁净室环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和外表之间形成了连接键，能够添加颗粒与硅质外表的黏附力。这种效应称为凯尔文浓缩，便是当相对湿度小于５０％时并不重要，但当相对湿度在７０％左右时，就成为颗粒之间黏附的首要力量。

　　６、人体皮肤枯燥

　　如果洁净车间湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于３０％则会让人感觉枯燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快，从而影响工作。

　　７、洁净车间光刻的退化

　　在半导体洁净车间中最迫切需要适度操控的是光刻胶的敏感性。因为光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的操控规模的要求是最严格的。相对湿度和温度关于光刻胶稳定性以及准确的尺度操控都是很关键的。乃至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将跟着相对湿度的上升而敏捷下降。当然，改动粘性，就会改动由固定组分涂层形成的维护膜的厚度。

　　此外，在高的相对湿度环境下，因为水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力相同也能够遭到较高的相对湿度的负面影响；较低的相对湿度（约３０％）使光刻胶附着愈加简单，乃至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷（ＨＭＤＳ）。

文章源自：江门洁净工程 www.jmyongjie.com